ఫోటోరెసిస్ట్ అవలోకనం

ఫోటోరెసిస్ట్, ఫోటోరెసిస్ట్ అని కూడా పిలుస్తారు, ఇది UV కాంతి, ఎలక్ట్రాన్ కిరణాలు, అయాన్ కిరణాలు, ఎక్స్-కిరణాలు లేదా ఇతర రేడియేషన్‌కు గురైనప్పుడు ద్రావణీయత మారే సన్నని పొర పదార్థాన్ని సూచిస్తుంది.

ఇది రెసిన్, ఫోటోఇనిషియేటర్, ద్రావకం, మోనోమర్ మరియు ఇతర సంకలితాలతో కూడి ఉంటుంది (టేబుల్ 1 చూడండి). ఫోటోరెసిస్ట్ రెసిన్ మరియు ఫోటోఇనిషియేటర్ అనేవి ఫోటోరెసిస్ట్ పనితీరును ప్రభావితం చేసే అతి ముఖ్యమైన భాగాలు. ఫోటోలిథోగ్రఫీ ప్రక్రియలో దీనిని యాంటీ-కోరోషన్ పూతగా ఉపయోగిస్తారు.

సెమీకండక్టర్ ఉపరితలాలను ప్రాసెస్ చేస్తున్నప్పుడు, తగిన విధంగా ఎంపిక చేసిన ఫోటోరెసిస్ట్‌ను ఉపయోగించడం ద్వారా ఉపరితలంపై కావలసిన చిత్రాన్ని సృష్టించవచ్చు.

పట్టిక 1.

ఫోటోరెసిస్ట్‌లను అవి ఏర్పడే చిత్రం ఆధారంగా రెండు ప్రధాన వర్గాలుగా వర్గీకరించారు: పాజిటివ్ మరియు నెగటివ్. ఫోటోరెసిస్ట్ ప్రక్రియలో, ఎక్స్‌పోజర్ మరియు డెవలప్‌మెంట్ తర్వాత, పూత యొక్క బహిర్గత భాగాలు కరిగిపోతాయి, బహిర్గతం కాని భాగాలు మిగిలిపోతాయి. ఈ పూతను పాజిటివ్ ఫోటోరెసిస్ట్‌గా పరిగణిస్తారు. బహిర్గతం కాని భాగాలు కరిగిపోయినప్పుడు బహిర్గత భాగాలు అలాగే ఉంటే, పూతను నెగటివ్ ఫోటోరెసిస్ట్‌గా పరిగణిస్తారు. ఎక్స్‌పోజర్ లైట్ సోర్స్ మరియు రేడియేషన్ సోర్స్‌పై ఆధారపడి, ఫోటోరెసిస్ట్‌లను UV (పాజిటివ్ మరియు నెగటివ్ UV ఫోటోరెసిస్ట్‌లు), డీప్ UV (DUV) ఫోటోరెసిస్ట్‌లు, ఎక్స్-రే ఫోటోరెసిస్ట్‌లు, ఎలక్ట్రాన్ బీమ్ ఫోటోరెసిస్ట్‌లు మరియు అయాన్ బీమ్ ఫోటోరెసిస్ట్‌లుగా మరింత వర్గీకరించారు.

ఫోటోరెసిస్ట్ ప్రధానంగా డిస్ప్లే ప్యానెల్లు, ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్లు మరియు వివిక్త సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో సూక్ష్మ-కణిత నమూనాల ప్రాసెసింగ్‌లో ఉపయోగించబడుతుంది. ఫోటోరెసిస్ట్ వెనుక ఉన్న ఉత్పత్తి సాంకేతికత సంక్లిష్టమైనది, అనేక రకాల ఉత్పత్తి రకాలు మరియు స్పెసిఫికేషన్లతో ఉంటుంది. ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమ యొక్క ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ తయారీ ఉపయోగించే ఫోటోరెసిస్ట్‌పై కఠినమైన అవసరాలను విధిస్తుంది.

ఫోటోక్యూరబుల్ రెసిన్ల ఉత్పత్తి మరియు అభివృద్ధిలో ప్రత్యేకత కలిగిన 20 సంవత్సరాల అనుభవం ఉన్న తయారీదారు ఎవర్ రే, వార్షికంగా 20,000 టన్నుల ఉత్పత్తి సామర్థ్యం, ​​సమగ్ర ఉత్పత్తి శ్రేణి మరియు ఉత్పత్తులను అనుకూలీకరించే సామర్థ్యాన్ని కలిగి ఉంది. ఫోటోరెసిస్ట్‌లో, ఎవర్ రే 17501 రెసిన్‌ను ప్రధాన భాగంగా కలిగి ఉంది.